二手 LAM RESEARCH 9600 #9191115 待售

LAM RESEARCH 9600是一種蝕刻器/asher，用於在半導體基板表面蝕刻導電材料層。該裝置能夠蝕刻最大厚度為300埃的材料層。9600是一種可靠、堅固的設備,具有高精度和可重復性。LAM RESEARCH 9600設有脈沖感應耦合等離子體源，該源擁有的副產物氣體，由氙氣和氧氣，可以蝕刻氧化矽和多晶矽層。該設備包括一個帶有圖形用戶界面的遠程過程控制，以便於操作，以及提供在線支持的實時監控和診斷系統。此外，9600還具有靜電卡盤，通過在蝕刻過程中消除顆粒和其他汙染物來提高可靠性和準確性。它還有一個獨立的接地電路，用於減少外部電噪聲的影響，從而能夠對具有敏感特征的層進行精確蝕刻。LAM RESEARCH 9600包括一個雙轉盤單元，最大基板尺寸為300 mm x 300 mm。Asher提供全溫度平衡,最高基板溫度為40 °C。它還提供了一個單程剖面處理,底物對底物的溫度變化±為2°C。9600設計用於在潔凈室環境中運行,需要208V交流電源12kVA和下部基座的凈化氣體連接。機器的安裝很容易，因為它只需要進行平整，機器人階段，（垂直和水平機器人）必須進行校準。重要的是要定期清潔腔室和基板支架，包括下部基座和出口。這保證了蝕刻過程中產生的粉塵顆粒不會降低基材質量，在產生的層上造成不可接受的缺陷。總體而言，LAM RESEARCH 9600是一種可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher，適用於厚度達300埃的蝕刻層。這種設備具有令人印象深刻的精確度,易於使用的圖形用戶界面,以及可容納300 mm x 300 mm基板的雙轉盤工具。9600適用於潔凈室環境，必須定期對腔室和基板支架進行適當清潔，以確保取得最佳效果。