二手 LAM RESEARCH 9600 #9204380 待售

LAM RESEARCH 9600是一種蝕刻器/asher，設計用於用專業材料處理晶片和基板。可自訂此機器,以根據不同的流程需求量身定制應用程式。它由LAM RESEARCH生產，LAM RESEARCH是一家全球工藝應用供應商，它創新、簡化和優化了半導體集成電路的生產。9600提供靈活性、領先性能和較低的處理成本。它是一個多室系統，使得每個室都能進行不同的處理步驟。這樣可以執行各種各樣的過程,使機器具有高度的通用性。LAM RESEARCH 9600還提供高通量和均勻性，運行溫度非常低，減少了顆粒汙染，提高了產品產量。9600有源蓋、基板臺、可變加工室、排氣系統。源蓋包括柵格板和快門機構，用於有效的基板裝卸。基板臺的設計具有穩定性和可重復性，具有多個加工室。可變處理室的設計允許用戶從控制器調整處理條件。它有一個電動升降機，並有一個門，用於裝載和卸載基板。排氣系統設計用於高效抽取和清理廢水，包括氟和氯。LAM RESEARCH 9600可自訂加工3英吋至8英吋晶圓尺寸的基板，容量最多可達24塊基板。它是一個自動化系統，具有機器人手臂機構，雙機器人和基板分類。9600有一個計算機控制的界面，允許監控模塊的狀態、工藝配方編輯調整以及繪制各種工藝圖參數。它還包括碳化矽、石英和氧化鋁加工能力。總體而言,LAM RESEARCH 9600是一款高質量的蝕刻器/asher,可為需要精確和受控環境的過程提供經濟的解決方案。它具有高度自動化的特點,並且能夠定制過程條件,因此是許多應用程序的理想選擇。