二手 LAM RESEARCH 9600 #9210314 待售

LAM RESEARCH 9600是一款用於半導體加工的最先進的蝕刻器/asher。它利用濕蝕刻和幹蝕刻過程，允許用戶選擇最適合其應用的。憑借其強大而又節能的脈沖動力設備，它能夠處理各種各樣的底物，包括矽、砷化氙和其他III-V化合物。其自動裝卸系統確保了一致的過程結果，提高了吞吐量。9600結合了可靠、大功率的電源、精密控制過程的精密kine控制器，以及獨立的溫度和壓力監控以實現準確輸送。這會導致嚴格的過程公差和可重復的結果。集成界面用戶友好，允許用戶創建和存儲多個流程配方。LAM RESEARCH 9600還提供了額外的好處,例如房間尺寸的靈活性,可選擇3.2、5.3或7.7英寸直徑。這允許用戶為應用程序選擇最佳刀具大小,從而節省時間和成本。具有廣泛的腔室壓力和溫度，該單元可以處理許多不同的沈積和蝕刻應用。9600還具有先進的安全功能,例如集成的緊急關閉開關和用於檢測泄漏的低流量警報。此外,可選的基礎真空模塊可幫助快速、無縫地裝載和卸載基板,以及處理偏移校正。這些功能結合了LAM RESEARCH 9600強大的體系結構和性能保證了最大的流程吞吐量和可重復的性能。9600是許多半導體加工應用的通用、可靠的蝕刻器/asher。LAM RESEARCH 9600以其強大而節能的脈沖動力機器、廣泛的腔室尺寸、溫度和壓力設置以及先進的安全特性,確保了可靠的工藝結果和優化的吞吐量。