二手 LAM RESEARCH 9600 #9233030 待售

LAM LAM RESEARCH 9600是一款蝕刻器/asher,為先進的加工技術提供了極致的靈活性和性能。此設備非常適合從晶圓制造到磁盤驅動器產品開發的應用。它是一個集成的蝕刻器/asher，使用一個雙梁模塊化的工藝室，使任何模式的可靠和高效的處理。LAM 9600具有最先進的工藝室,可提供均勻的蝕刻深度和精確的材料處理,使用戶能夠蝕刻或粉刷任何基材。這種高度先進的腔室允許最大限度的過程控制和整體系統的靈活性。LAM LAM RESEARCH 9600工藝模塊集成了感應耦合等離子體（ICP）、反應性離子蝕刻（RIE）、電化學蝕刻（ECE）等先進工藝。這些工藝能夠在低汙染和提高工藝穩定性的情況下實現高質量晶圓蝕刻。集成的介電反應室提供等離子體功率控制和均勻的蝕刻深度，適用於多種蝕刻和灰化任務。9600配備了步進重復單元，用於快速射頻輸出控制。其軟件包括多個源代碼控制參數、自動化實時動態氣體控制、高精度虛擬溫度控制以及精密的過程控制制圖機。通過組合這些功能,該工具可提供準確和可重復的蝕刻性能。此外,該資產還提供光學和聲學診斷功能。集成光學模型提供了對蝕刻和灰化過程的連續監控，而聲學設備提供了對蝕刻圖樣的無損檢測，以檢測任何故障或弱點。LAM LAM RESEARCH 9600可配置用於各種應用，包括金屬氧化物蝕刻、高縱橫比蝕刻和金屬線條圖案。該系統可以處理多種底物，包括結晶矽、薄膜材料和量子點。該設備還提供了一些可選的軟件包,例如離子源和可選的自動樣品處理機。LAM 9600具有靈活的工藝室、全面的控制工具和先進的診斷功能,是一種針對高級蝕刻/灰化應用的完整且經濟高效的解決方案。它提供最大程度的工藝控制、均勻的蝕刻深度和可靠的材料處理,以確保高性能和經濟高效的處理。