二手 LAM RESEARCH 9600 #9242599 待售
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LAM RESEARCH 9600是蝕刻和灰化半導體晶圓的先進平臺。該設備由負載鎖、工藝室和排氣系統組成,提供無與倫比的工具和精度。負載鎖是一個真空密封的腔室,允許半導體晶片以無汙染物的方式安全裝載。使用自動機機構將晶片從負載鎖移動到加工室。機器人機構采用先進的機械原理來保證晶圓的正確處理、安全性和準確性。可以根據正在處理的晶圓類型為各種傳輸配置負載鎖定。工藝室是一個高度特定於應用程序的環境。這是根據應用程序的特定要求進行蝕刻或灰分處理的地方。該腔室的設計和構造具有精確度、準確性和可重復性,能夠為每個蝕刻或灰化晶片提供可靠和可重復的結果。排氣裝置用於排空廢料,產生均勻的工藝條件。排氣機采用化學蝕刻、吸附、過濾和氣體相結合的方式,從工具中去除顆粒物和其他類型的汙染物。旋風分離器通常用於收集和清除顆粒物。9600是一項突出的蝕刻和ashing資產。它是為了提供一致和準確的過程而構建的。其復雜的組分組合,負載鎖,工藝室和排氣模型,可提高精度,節省成本和強大的性能。這使得LAM RESEARCH 9600成為半導體蝕刻和灰化晶片的優秀可靠選擇。
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