二手 LAM RESEARCH 9600 #9243611 待售

LAM RESEARCH 9600是一種高精度的蝕刻/asher設備，設計用於在集成電路的制造過程中對半導體晶片和基板進行蝕刻、鈍化和清洗。該系統具有廣泛的功能,能夠實現精密的材料處理操作,並具有出色的基本精確度,包括支持針對晶圓級數據分析和可追蹤性進行優化的多級流程和軟件系統。9600可以處理高達6英寸（最大1.5 μ m厚）的基板,具有顯著的結構內分辨率和可重復性。一個集成的微處理器調節氣體控制和分配單元提供精確控制機器參數和精確的化學輸送。在精確的化學傳遞、精確的掩蔽操作和最新的晶圓級數據分析方面,此工具提供了無與倫比的功能。LAM RESEARCH 9600專為技術最先進的半導體材料加工應用而設計。它支持自動化化學輸送、精確可重復的溫度控制、精確可控制的化學溫度、精確可控制的氣體壓力以及精確可控制的功率輸出。這一蝕刻器/asher資產配備了多項獨特功能，包括超高精度雙頭氣體輸送模型、高度精確的自動對準設備，以及專為9600開發的多種專利和先進蝕刻、鈍化、清潔配方。為了提供準確、可重復的結果，LAM RESEARCH 9600融合了精密集成的微處理器控制操作系統，自動適應各種配方和工藝條件。內部氣流控制單元與高精度計量機相結合，對蝕刻、鈍化和清洗操作進行精確控制。9600還提供用於數據記錄和高級質量數據分析的高級軟件系統。該工具針對基板光刻的自動對準、跟蹤和高級質量控制進行了優化。除了現成的功能外，LAM RESEARCH 9600還提供定制安裝選項和高級維護包，包括實時過程控制和數據分析功能。9600是用於高級材料加工操作的可靠、通用且經濟實惠的解決方案。它結合了高精度氣體輸送和先進的軟件系統，提供了一種高度可靠的資產，能夠在廣泛的工藝條件下提供可靠和可重復的結果。