二手 LAM RESEARCH 9600 #9399061 待售

LAM RESEARCH 9600是一款專為生產應用而設計的高端、多室、批量的Dimensional Etcher/Asher。它是現有的最先進的蝕刻器/分類器之一,通過其多個處理室提供了廣泛的靈活性和處理能力,可以將其配置為滿足各個流程的要求。該設備采用高產率、等離子體增強的化學蝕刻（PECVD）選擇性地蝕刻或粉刷各種材料。9600可實現精確、高通量的多層互連、半導體元件和其他圖案化基板的蝕刻和粉刷,其尺寸可降至亞微米。該系統的腔室配置靈活性提供了最大的處理能力和靈活性,實現了多個晶片的並行處理以及多個盒式磁帶的可選堆疊和加載。LAM RESEARCH 9600的精密可調化學蝕刻提高了晶圓制造的產量和效率。它配備了最新、最先進的蝕刻技術，如：選擇源和加載系統，包括等離子增強化學氣相沈積、化學氣相沈積和反應性離子蝕刻；溫度、壓力、化學流速控制器；以及先進的氣流和排氣控制裝置，以提高安全和維護。9600還具有提供過程參數和錯誤記錄、晶圓定位和監視工具、全自動端點監視以及靈活的用戶定義過程配方的高級控制機器。其直觀的圖形用戶界面（GUI）提供了簡單、改進的用戶體驗和制造商界面。LAM RESEARCH 9600旨在滿足嚴格、快速的生產應用時間表。它提供100%清潔的溫度、壓力和工藝室條件,以及實時的工藝控制反饋和反饋讀數。它被配置為批處理機器，允許每小時最多200個晶圓的快速處理，有操作員定義的過程配方和自動化設置。9600的設計具有非常強大的操作資產,需要最少的維護,而且用戶友好,具有安全、方便的即時調整功能。該模型符合嚴格的ESD標準,並利用100%的清潔溫度和排氣室、工藝室密封件以及其他安全特性,確保所有晶片都沒有汙染物。它配備了實時流程監控設備和改進流程控制的端點報警系統。