二手 LAM RESEARCH 9608 PTX #9207997 待售

LAM RESEARCH 9608 PTX是一款用於半導體器件制造的先進蝕刻器/asher。它能夠提供高端蝕刻和灰化性能,提供卓越的功能和設備級別功能。LAM 9608 PTX有一個反應器室，其中包含一個可旋轉的端效應器平臺和一個光刻光源。這允許在整個基板上精確輸送等離子體，允許對設計進行精確的圖樣設計，並導致創建小至0.05微米的結構。LAM LAM RESEARCH 9608 PTX專為滿足超前50納米工藝的需求而設計。室內有八區溫度控制，可以更好地控制和統一溫度分布。這樣可以精確控制蝕刻和灰化過程,從而提高精度和均勻性。LAM 9608 PTX還具有廣泛的工藝條件,可實現多種蝕刻技術,從而無需進行工藝開發或附加硬件。它還具有一些關鍵的安全特性，例如危險的有源氣體傳感器、安全裝置和聯鎖裝置，以及一個內置氣體過濾器，可確保在操作過程中不釋放危險氣體。總體而言，LAM RESEARCH 9608 PTX是一種用於制造半導體器件的高度先進的蝕刻器/灰化器。它提供了卓越的精度，同時具有高度的安全性和廣泛的工藝條件。歸根結底,這確保了高端蝕刻和灰化性能的一致交付,從而生產出高質量的半導體器件。