二手 LAM RESEARCH A4 4520 PM #9170252 待售

LAM RESEARCH A4 4520 PM是為高級工藝而設計的蝕刻器（或asher），提供對物料去除過程的精確控制。它的最終通過率高達每小時10,000個晶圓，旨在創建具有精確、可重復結果的小型、超精確特征。為了獲得最大的工藝靈活性,A4 4520 PM配備了先進的晶圓處理設備,可根據任何基板進行調整。這包括用於處理各種直徑和厚度的晶片的組件，以及用於準確管理多個晶片集的可編程卡盤優先排序系統。有多種功能可用於最大限度地提高蝕刻質量和工藝產量,包括用於精確溫度控制的閉環真空卡盤設計、使用高質量、可見光學器件的詳細實時工藝監控,以及基於配方的多級自動氣體控制。該裝置獲得專利的快速能源響應技術調整，以最佳速度處理各種材料和基材，在蝕刻過程中將反應物濃度降至最低，以提高蝕刻速率和質量。此外,LAM RESEARCH A4 4520 PM還配備了先進的氣體控制,用於精確的材料去除.該機器還包括故障排除功能,使技術人員能夠在此過程中快速識別和解決問題。此外,集成的報告功能允許記錄和報告每個晶片的蝕刻參數,以了解可追蹤性和性能歷史。為了最大限度地提高安全性，該工具包括先進的密封資產，以保護人員和設備免受蝕刻加工過程中使用的任何有害材料的侵害。這包括一個強大的氣體洗滌器，用於捕獲和清除蝕刻劑流出。總體而言,A4 4520 PM是一款可靠的高級蝕刻器,旨在創建準確、可重復的功能。它提供了最大的工藝靈活性、精確的溫度管理、氣體控制以及有效的安全殼模型，以增強安全性。