二手 LAM RESEARCH A4 9400 PTX #9224718 待售
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ID: 9224718
Process module
Includes:
VAT 65 Gate valve with controller
ADIXEN / ALCATEL 1300M Turbo pump with ADIXEN ACT 1300 controller
VME Chassis: 021
Bias match assembly: 018
ESC Frosted TCP window: 8"
TCP Match dual endpoint detector module
ESC Power supply.
LAM RESEARCH A4 9400 PTX是一款先進、高性能、精密的蝕刻器/asher,旨在為各種材料提供快速、精確、精確的模式傳輸。蝕刻器/asher配備了可編程的過程控制功能,為用戶提供了自定義過程參數以達到最佳效果的能力。A4 9400 PTX 蝕刻器/asher包括一個先進的集成離子銑削系統,它提供比傳統的濺射蝕刻器更高的精度、速度和模式保真度。離子銑削系統配有可變功率射頻發生器,封裝在低壓等離子體密閉腔室中,在蝕刻細膩結構和高度精確的圖案時允許更大的靈活性。LAM RESEARCH A4 9400 PTX配備獨特的采樣相對運動階段,允許更嚴格的模式蝕刻控制,提高定位精度。這一特點對那些參與大規模抽樣工作的用戶特別有吸引力,在這些工作中,模式的精確調整和登記至關重要。A4 9400 PTX結合了氣體總開放時間、沈積速率、入射角、侵蝕角、時間延遲等一系列先進工藝參數。這些功能使用戶能夠根據其特定的工藝要求調整蝕刻器/asher,從而實現出色的模式傳輸精度。LAM RESEARCH A4 9400 PTX還提供了一系列的配件,包括一個負載鎖、傾斜安裝的樣品支架和分段靜電夾板。這允許各種樣本量和幾何的靈活性。該系統通過2.0KW電源得到了進一步的增強,該電源的設計具有很高的可靠性和對工藝條件的精確控制。A4 9400 PTX是一種高度先進的蝕刻器/灰化器,可確保模式傳輸和樣品制備過程的精度、效率和質量。它為用戶提供了廣泛的過程控制功能,使他們能夠根據自己的具體要求量身定制蝕刻器/asher。LAM RESEARCH A4 9400 PTX是高精度圖案制作和樣品制備的理想選擇。
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