二手 LAM RESEARCH A4 9400 #9198122 待售

LAM RESEARCH A4 9400是一款為大批量生產應用而設計的蝕刻器/asher。它能夠進行多種蝕刻工藝，包括用蝕刻劑蝕刻晶圓和其他基材，如X射線光刻、氟化氙和氯基蝕刻劑。蝕刻器/asher包含用於蝕刻和清潔的單個真空室。真空壓力在5至10 mTorr的範圍內。新設計提供了對蝕刻和清潔過程的完全集成控制，包括對基板表面的獨特熱控制。A4 9400提供了廣泛的選項和功能,包括具有自動設置調整功能的全自動過程、可用於優化蝕刻過程的蝕刻時間和參數的選擇,以及直接計算機控制站。LAM RESEARCH A4 9400還運動多個蝕刻頭，可針對處理不同基板和不同應用進行單獨調整。內置射頻發電機經過優化，達到最佳性能，可以簡單地針對不同的蝕刻要求進行調整。A4 9400配備了NEBB Clean認證，確保了一致可靠的清潔結果。一個完全集成的安全系統確保所有作業都在安全條例範圍內進行。LAM RESEARCH A4 9400是用於大批量生產應用的可靠、高性能的蝕刻器/asher。該系統可提供可重復、可靠、安全的蝕刻,而不犧牲質量。它具有先進的通信接口，允許各種OEM系統和其他系統組件的輕松集成，使其成為各種工業和研究設置的理想選擇。此外，其綜合安全系統確保所有蝕刻作業均按照安全條例進行。