二手 LAM RESEARCH A4 #148352 待售

LAM RESEARCH A4是一種專為精密晶圓制造而設計的高度先進的蝕刻工具。該設備配備了獨特的四向源對準設備,使其能夠以高可重復性速率執行高寬高比蝕刻。這個新系統包括一個專利視覺檢查模塊，能夠發現甚至最微妙的缺陷，以及準確測量蝕刻深度。LAM RESEARCH A-4是一種設計用於半導體基板加工的高性能晶圓蝕刻工具。它利用先進的等離子體化學在晶圓制造領域進行多種高長寬比蝕刻。該產品由四個在晶圓上以交叉模式排列的源組成。這樣可以使蝕刻速率均勻地分布在整個晶圓表面上。為確保可重復性和準確性，A4配備了針對薄顯示器和先進電子包裝技術進行優化的專用四向源對準單元。該設備還能夠在超出設計規範的位置識別和停止侵蝕。此外，它還具有二維向下蝕刻（2D-LDE）特征，可以檢測晶圓上的表面缺陷並創建復雜的結構。該2D-LDE允許制造亞四分之一微米結構以及復雜的幾何形狀，如通孔通孔。產品獨特的視覺檢查模塊支持A-4強大的處理能力。此模塊能夠在亞微米級檢測到蝕刻缺陷的存在，如表面凹陷、凹痕和其他特征。它還可以準確測量深度，報告錯誤指示問題。該模塊還支持實時蝕刻後工藝控制以及通過提高蝕刻特性的精度提高產量。最後,產品配備了監控和反饋功能,可實現過程優化和更大的可追蹤性。綜上所述，LAM RESEARCH A4是一種提供精密晶圓制造的高度先進的蝕刻工具。它配備了精密的四向源對準機、2D-LDE和全面的視覺檢查模塊。這些組件允許對晶片進行高效、準確的蝕刻和檢測蝕刻缺陷。此外,該產品的設計旨在提供實時的過程控制和可靠的結果。