二手 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9241406 待售

LAM RESEARCH A6 9608 PTX是由LAM RESEARCH Corporation開發，用於先進半導體制造工藝的蝕刻器/asher。這款蝕刻器/asher專為半導體生產線中的大批量制造而設計。它利用該公司正在申請專利的熱板技術，提供精確、高產的蝕刻和灰化結果。該設備具有20千瓦射頻發電機、高效傳輸和高壓輸送（最高760托），用於精確的灰化和蝕刻工藝。PTX還配備了熱板系統，確保溫度分布均勻，有助於減少加工時間。這款蝕刻器具有創新的Hornet反應離子蝕刻技術，可以處理厚度在0.1mm至0.27mm之間的晶片。它還有一個具有自動對準和自動對焦功能的高級工藝控制單元，以及一個用於快速基板交換的自動目標卡帶裝載機。它還配備了高級流程配方編譯器，以簡化開發流程配方的任務。A6 9608 PTX 蝕刻器/asher最大容量為8英寸晶圓，均勻度為6500埃，過程可重復性為3.5西格瑪。它支持矽、石英、藍寶石等廣泛的晶圓基板，以及廣泛的蝕刻和灰化材料清單。該機還能處理廣泛的PFG前體氣體如氯、氮、溴等。此外，該工具還配備了PANalytical Quartz Analysis Asset，提供對過程性能的實時監控和分析。蝕刻器/asher也與LAM A9熱控制模型兼容，允許過程室的溫度自動控制。以及臭氧控制設備，該設備提供對臭氧生產的精確控制，以確保統一的蝕刻或灰化結果。LAM RESEARCH A6 9608 PTX是一款高精度的蝕刻器/asher，為半導體生產線提供卓越的工藝可靠性和吞吐量。這種可靠、經濟高效的系統非常適合半導體器件制造、封裝和其他應用。