二手 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410068 待售

LAM RESEARCH A6 9608 PTX 蝕刻器/asher是一種工業級等離子蝕刻工具，用於半導體和微機械產品的精密制造。9608 PTX的特點是化學蝕刻，使用反應性氣體，結合使用物理形式的能量，稱為等離子體蝕刻。該工具提供了工藝控制和蝕刻一致性的完美組合，同時通過將材料從源晶片快速轉移到目標晶片來實現高吞吐量。9608 PTX強大的設計非常適合在惡劣的工業環境中進行重復操作。該系統采用多室體系結構構建,允許進行各種蝕刻過程。它設有三個工藝室、一個預蝕刻室、一個蝕刻室和一個後蝕刻室。每個腔室提供了許多蝕刻選項以及調整壓力、流量和溫度等參數的能力。循環水路確保了蝕刻過程中的溫度維持，即使在長時間運行中也是如此。高效的9608 PTX系統旨在將多個過程緊密集成到單個蝕刻操作中。它包括用於高效多階段批處理操作的高級自動化,將流程配方存儲在內存中,並迅速召回以供將來使用。該系統配備了工藝配方指導、實時監控、故障檢測和自動關機功能，以保證產品質量。此外，該工具還支持數據收集和前瞻性報告，以改進流程和節省材料成本。9608 PTX小巧可靠，功耗低。它確保過程安全進行，不受汙染。為了獲得一致的吞吐量和最佳的產品質量,LAM RESEARCH提供技術支持和產品培訓,以及一整套診斷工具和預測性維護計劃。靈活和易於維護的工具提供了令人印象深刻的產量工業性能，使過程和操作優化。