二手 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410070 待售

LAM RESEARCH A6 9608 PTX是一款先進的等離子體蝕刻器/asher，具有卓越的性能和支持現代蝕刻/ashing要求的能力。它是一種大型、多室設備，配備了先進的高速電離流動（HVIF）技術，能夠在多個處理室中清洗各種尺寸的基板。A6 9608 PTX以新一代等離子體源技術為特色，利用高頻、高功率打造穩定、均勻的等離子體火炬。這項先進的技術可實現高蝕刻/灰度精度、低損壞和卓越的蝕刻/灰度均勻性。控制系統還可以自動調節等離子火炬功率和重復性，以提高過程的重復性和性能精度。LAM RESEARCH A6 9608 PTX配備了多區氣體輸送裝置，可以精確控制蝕刻/灰化反應。多區氣體輸送機允許用戶調整腔室設置，如壓力、溫度和流量，以調整蝕刻/灰化反應，以滿足工藝要求。A6 9608 PTX還能夠支持廣泛的氣體類型，如CF4（四氟甲烷）、C3F6（六氟乙烷）和其他氣體混合物，使其適用於大多數蝕刻/灰化應用。該工具還配備了可同時處理半導體和非半導體材料的特殊晶圓清洗資產。該模型設計用於在蝕刻/灰化過程之前準備基材，方法是從基材中去除不需要的材料和顆粒。LAM RESEARCH A6 9608 PTX旨在在蝕刻/灰化過程中提供更高水平的控制和精度。它配備了廣泛的自動化控制系統，以確保精確和可重復的工藝條件。設備的綜合軟件界面允許用戶觀察蝕刻/灰化性能參數，並從遠程位置監控流程。A6 9608 PTX旨在方便地與其他LAM RESEARCH工具集成,如預處理和後處理系統。它還允許用戶為各種蝕刻/ashing應用程序配置多個流程配方和流程設置。該系統還能夠存儲大量的過程數據，允許用戶跟蹤蝕刻/灰化性能參數，並嘗試不同的配方。總體而言,LAM RESEARCH A6 9608 PTX是一款先進的等離子體蝕刻器/灰化器,具有卓越的性能和支持現代蝕刻/灰化要求的能力。它配備了先進的高速電離流動（HVIF）技術和多區氣體輸送裝置，使其成為精密蝕刻/灰化應用的理想選擇。此外,該機器還提供自動化控制、過程數據存儲以及多種氣體類型,使其適用於各種蝕刻/灰化應用。