二手 LAM RESEARCH A6 #293821538 待售

LAM RESEARCH A6是一款多室、多工藝的蝕刻器/asher,可為各種應用程序提供快速、可靠的蝕刻和灰化功能。A6是一種堅固、高產且可靠的設備，可有效蝕刻大小不一的基材尺寸。該系統由兩個獨立的、溫度和壓力控制的加工室組成，有一個大而寬敞的加工室適合較大的基板，多個較小的室適合較小的基板。這允許根據應用程序的需求進行可變基板處理。該單元具有可獨立編程的氣流和壓力,允許在各種材料上優化工藝流程和快速循環時間。此外，機器允許最大程度的靈活性，在基板加工與每個腔室最多四個基板支架。LAM RESEARCH A6還包括先進的腔室設計特性，如自動腔室沖洗、多腔旁路、雙鼓風機旁路、腔室側壁裝卸等。此外,使用A6的濕法和幹法都可以使用戶降低運營成本並提高產量。LAM RESEARCH A6也與廣泛的氣體兼容，如CF4、SF6、NF3和Ar。最後,A6具有內置的多腔過程優化功能,使其具有高度可靠、高效和用戶友好的特點。