二手 LAM RESEARCH AE 480 #9214116 待售

LAM RESEARCH AE 480是一款先進的蝕刻/asher設備，旨在達到最高級別的工藝控制、精度和晶圓吞吐量。配備強大的蝕刻烘烤能力，AE 480可處理多矽柵極蝕刻、源/漏蝕刻、晶圓清洗等廣泛的半導體應用。LAM RESEARCH AE 480采用全自動工藝和最先進的工藝控制技術,可幫助客戶提供最佳的質量、產量和吞吐量。AE 480采用50晶片負載鎖定系統,提供獨特、高效且經濟高效的晶片處理和存儲解決方案。它能夠處理大尺寸的「四分之一切削」晶片（直徑最大為12英寸）,無需任何手動幹預即可將其從蝕刻器/石膏轉移至或從蝕刻器/石膏中轉移。LAM RESEARCH AE 480還具有先進的實時過程控制單元，允許在整個過程周期中保持優化的腔室壓力、電壓和氣流。AE 480 蝕刻器/asher由靈活的雙頻HF源提供動力,可提供無與倫比的蝕刻和烘烤吞吐量。它的模塊化設計使客戶能夠定制其系統以滿足其特定的制造要求。此外，其先進的工藝氣體輸送能力有助於維持高蝕刻速率，同時其高溫烘烤能力確保所有晶片層的最大均勻性。LAM RESEARCH AE 480還為客戶提供增強的可維護性。該機采用開放式體系結構設計，可輕松升級，配置機器人和補給系統、散熱系統和輸送機等第三方組件。此外,AE 480還具有適合客戶的網絡結構,支持內部和遠程診斷與維護。憑借先進的功能和強大的工具設計,LAM RESEARCH AE 480為客戶提供了無與倫比的性能,可幫助他們滿足所有半導體制造需求。AE 480具有無與倫比的過程重復性、先進的過程控制和高吞吐量功能,是實現最高產品質量和產量的理想蝕刻器/蝕刻器。