二手 LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE #293591992 待售

LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE是一款超高精度晶圓加工的先進蝕刻器/aser。該設備專為大批量生產而設計,具有先進的過程控制和優化的設計,以實現快速可靠的結果。該系統適用於一系列工藝，如RIE、CMP和蝕刻。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE是一種可定制的蝕刻解決方案,具有自動調整功能,允許用戶快速優化工藝參數並確保整個基板的均勻性。它配備了擁有2至8個控制區的快速掃描頭，以及高清光學傳感器和實時反應分析。其快速的過程初始化和調諧減少了停機時間，使其適合大批量生產。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE還提供精確的蝕刻氣體劑量和方向控制，以及惰性環境和優化的氣體輸送。這使得精確的處理能夠在垂直和水平方向上提供精確的目標和可重復的結果。它進一步在蝕刻配方和調整關鍵工藝參數方面提供了靈活性。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE的過程控制允許高效且可重復的晶圓處理，還配備了一個全職、車載MES（制造執行單元），用於改進過程管理。它的設計考慮了模塊化,允許有效地集成到現有流程中,以及快速輕松的升級。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE使用業界領先的硬件和軟件實現超精密晶圓處理的最大吞吐量和精確控制。它是一種經濟高效、可靠的高批量生產解決方案,並輔以業界領先的支持機器。憑借其先進的特點和精確的控制，這種工具使超高精度晶片的大批量生產成為現實。