二手 LAM RESEARCH Alliance 4.1 #293587281 待售

LAM RESEARCH Alliance 4.1是一個半導體蝕刻/aser平臺，能夠為半導體行業提供精密蝕刻、濺射和物理氣相沈積服務。設備建在11英寸乘10英寸的平臺上，並配有兩個4英寸PVD（物理氣相沈積）室。該平臺支持各種工藝，包括蝕刻和清理基板以及在基板上沈積保護層。它還提供單層和多層沈積、薄膜沈積和微機電系統的蝕刻。Alliance 4.1能夠處理4英寸的最大晶圓尺寸，可以處理矽、二氧化矽、光敏等多種材料。此外，它的內置控制系統允許完全控制蝕刻過程，包括定時和過程參數，從而產生可重復和可重復的結果。Alliance 4.1符合人體工程學設計,旨在優化工作流並允許輕松訪問所有組件。此外，該系統還具有高分辨率的制圖能力，可以對晶圓的變化以及晶圓上的溫度分布進行制圖。該單元還允許額外的工藝能力，如沈積嵌入式膜和多層應用的多金屬膜。Alliance 4.1能夠提供過程監控和實時診斷,使工程師能夠確定蝕刻過程的狀態。此外,它還提供了一個標準配方庫,以簡化編程,並且與行業標準軟件平臺兼容。此外，該機器還配備了內置安全工具，以提供安全可靠的操作。總體而言，LAM RESEARCH Alliance 4.1為半導體行業提供了先進可靠的蝕刻平臺。它具有各種有用的功能，如過程監控、高分辨率映射以及與行業標準軟件平臺的兼容性，這使得它成為任何需要精密蝕刻或沈積的應用的絕佳選擇。