二手 LAM RESEARCH Alliance 4520 XL #9255806 待售

LAM RESEARCH Alliance 4520 XL是一款高性能蝕刻器/asher，旨在為半導體器件提供準確、高效、可重復的蝕刻和灰化工藝。該設備具有高精度的浴缸,具有出色的蝕刻和灰燼特性,確保了可重復的過程,從而實現了可靠的設備性能。該蝕刻器/灰化器利用傳統蝕刻和電化學灰化（ECA）工藝,以最高的產品產量提供優異的效果。Alliance 4520 XL提供高級功能,例如超低失真浴設計,以確保蝕刻和灰燼工藝是可重復的。一個緊湊的浴缸尺寸可以改善均勻蝕刻和灰分結果的輸送。這種裝置還具有業界領先的雙斜玻璃蓋，在使用傳統型號時將玻璃浮力往往難以預測的範圍降至最低。這樣可以在整個浴缸中均勻地進行出色的蝕刻和灰分處理。LAM RESEARCH Alliance 4520 XL還具有獨特的基於等離子體的蝕刻和灰分工藝,它利用高能過程在更短的時間內提供更好的蝕刻和灰分。此過程還可以擴展以滿足客戶的需求。蝕刻器/asher還擁有快速自動化的過程,可提高吞吐量,從而無需手動幹預。Alliance 4520 XL的附加功能包括強大的控制系統，允許精確控制溫度、氣體濃度、功率和曝光時間等過程參數。設備還提供有關輸入參數的反饋,以確保過程保持精確。此反饋還用於檢測和糾正任何異常蝕刻和灰分過程。此蝕刻器/asher還設計用於易於維護,具有可從控制面板觸發的自清潔系統。它還具有簡單的部件更換過程,以最大程度地減少停機時間並最大程度地提高正常運行時間。LAM RESEARCH Alliance 4520 XL是需要精確、可重復蝕刻和灰燼處理的應用程序的理想解決方案。其先進的功能和可靠的性能將確保客戶能夠在整個生產過程中實現一致的設備產量。