二手 LAM RESEARCH Alliance 4720 #9192401 待售

LAM RESEARCH Alliance 4720是一種高度可靠、全自動、批處理型、感應耦合等離子體（ICP）反應器，用於蝕刻和灰化過程。它是一種高度可控的體積加工設備，非常適合生產類型的蝕刻和灰化。該系統能夠在單個設置中運行多個流程配方,從而可以精確控制流程變量。該單元具有四功能核心,可產生優異的蝕刻/灰化效果。它采用三軸機械機械臂設計，用於在封閉環境中精確處理晶片，並采用自動晶片處理機，以確保晶片的安全高效處理。此外,Alliance 4720還配備了動態氣體控制工具、溫度控制模塊、壓力控制模塊和安全聯鎖資產,以防止操作不當。該模型的動態氣體控制設備可實現精確的蝕刻/灰化參數,這些參數是滿足當今苛刻的制造要求所必需的。溫度和壓力控制模塊提供一致的過程加熱和壓力控制。還包括一個opto氣體分析儀，用於實時連續監測工藝氣體。LAM RESEARCH Alliance 4720得到了現有最可靠的氣體和化學輸送系統的支持。它采用LAM的高級通信和控制器體系結構,允許對應用程序進行遠程修改、控制和監控。它支持操作員界面和自動控制。該系統還包括用於跟蹤溫度、壓力和氣流的標準維護報警。此蝕刻器/asher可以處理多達6英寸的晶圓直徑。它在各種基材上的均勻蝕刻/灰化性能和不同的工藝要求確保了可靠和可重復的結果。Alliance 4720還能夠同時處理多達40個晶圓的盒式磁帶，使其適合晶圓級生產。此外,該設備還通過LAM Alliance Certified計劃進行認證和維護,以保證提供最高質量的組件。