二手 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293666065 待售

  • 圖為 已使用的 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX 待售
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蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
LAM RESEARCH
模型
Alliance 9100 PTX
ID: 293666065
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Oxide etcher, 8" Non-functional Robot: MAG 7 (Dual end effector) (2) Chambers Wafer type: Notch, 26 slots EMO Guard ring SECS/GEM Interface TCP9100 Process module Pendulum throttle valve VAT 65 Gate valve 65046-PH52-ADE1 VAT Step motor 650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller Gas panel exhaust flange Gas Pallet Chamber 1 and 2: Ar (500 sccm, Analog) FC-780C O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C O2 (30 sccm, Analog) FC-780C CO (200 sccm, Analog) FC-780C Power supply: 208 VAC, 60 Hz 2000 vintage.
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LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX是一款先進的蝕刻器/asher,旨在提供非常精確的蝕刻和灰化工藝。利用不同的等離子體來源，包括射頻激發和微波激發，Alliance 9100 PTX在單個工具中提供了最高水平的精度和效率。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX采用模塊化設計,可實現最大性能和生產可靠性。其刀具組件設計用於高度精確的對齊和可重復性,使其能夠在蝕刻和灰化過程中提供最大的準確性和均勻性。它還提供兩種不同的工藝,具體取決於需要蝕刻或粉刷的材料。第一個是低壓蝕刻器/asher，第二個是大氣壓力等離子體（APP）系統。這使得機器能夠為多種材料提供最合適的工藝，包括聚合物、多晶矽和非矽器件。Alliance 9100 PTX是一種高度可定制的工具,允許用戶自定義流程參數以滿足他們的確切要求。它還可以與LAM的專有EPT2過程控制系統集成,使用戶可以訪問高級過程控制,以確保在多個運行中實現可重復、優化的蝕刻和灰化結果。各種蝕刻和ashing配置也可用於滿足不同的需求。總體而言,LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX是滿足業界領先制造商高度精確的蝕刻和灰化需求的理想解決方案。它提供了始終如一的超出預期的可靠結果,為各種材料和應用程序要求提供了卓越的準確性和可重復性。它還提供了無與倫比的靈活性和過程控制,允許用戶快速調整過程參數以確保可重復、優化的結果。
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