二手 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293754418 待售
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ID: 293754418
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX是為下一代半導體加工而設計的蝕刻/灰化工具。9100 PTX具有高功率和高精度,非常適合復雜的設備制造,具有廣泛的工藝流程。其卓越的蝕刻/灰燼性能,加上先進、高效、可靠的處理能力,使其成為要求最苛刻的設備和材料處理應用的理想選擇。Alliance 9100 PTX能夠進行幹式和濕式蝕刻/灰分操作,從電介質的快速蝕刻/灰化到金屬的選擇性蝕刻/灰化的超精密工藝。它具有高速提取/壓縮過程,可確保快速蝕刻/灰分吞吐量,並具有邊到邊的均勻性和最小的損壞。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX還采用了先進的酸抑制系統，減少了蝕刻/灰化循環時間，從而提高了生產效率。Alliance 9100 PTX還提供了一系列高效且經濟實惠的下遊處理選項。這些包括卡帶加載、SCARA機器人卡帶傳輸系統，以及垂直和/或水平單卡帶加載和卸載方法。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX還具有全自動晶圓釋放和卸載功能,消除了操作員的努力。這樣可確保提高吞吐量性能並提高設備產量。Alliance 9100 PTX有一個直觀的操作員界面，它提供了最佳蝕刻/灰操作的所有必要控制。它還具有用於創建高級配方的內置配方編輯功能,以及用於準確分析蝕刻/灰化結果的強大數據日誌功能。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX支持現代通信協議，如以太網，允許用戶從任何方便的位置輕松連接和訪問蝕刻/灰燼數據。總體而言,Alliance 9100 PTX是一種高級蝕刻/灰燼工具,專為要求最苛刻的設備和材料處理應用而設計。9100 PTX具有高功率、精確度和高級功能,可提供可靠的蝕刻/灰化性能,減少循環時間並提高設備產量。
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