二手 LAM RESEARCH Alliance 9400 DSiE #9082559 待售

LAM RESEARCH Alliance 9400 DSiE是一款用於先進半導體生產的高端蝕刻器/asher。設計用於電阻材料和介電材料的精密、高精度蝕刻和灰化。它具有模塊化的體系結構,允許進行可定制的操作和預先安裝的工藝配方,以實現最佳半導體生產。9400 DSiE擁有由25千瓦電源供電的高溫高性能感應爐。這種感應爐提供精確的溫度控制，溫度範圍為40至1700 °C。它也是為低壓或真空操作而設計的，有一個蒸發器能夠向下泵送至純真空。9400 DSiE還有一個紅外高溫計用於精確的溫度測量。9400 DSiE擁有八個獨立控制的氣閥，數字流量計控制。它配備了快速連接的歧管和低壓降、恒流分配系統。9400 DSiE還具有遠程壓力監控功能,可輕松控制蝕刻和灰化過程。9400 DSiE配備了先進的蝕刻和灰化技術，包括等離子體增強水蝕刻（PEAE）、離子束增強蝕刻（IBEE）、原子層沈積（ALD）。它還支持廣泛的加工氣體，包括氯氣、氙氣、氨和碳氟化合物。9400 DSiE的設計與寬範圍的晶圓兼容，直徑從200毫米到450毫米不等。Alliance 9400 DSiE結合了先進的技術和工程、可靠性和用戶友好的操作。它是半導體生產中先進蝕刻和灰化工藝的理想選擇。它極其可靠，易於使用，並且允許高度詳細和精確的蝕刻和灰化操作。