二手 LAM RESEARCH Alliance 9400 #9035897 待售

LAM RESEARCH Alliance 9400是一款高級蝕刻器/asher，設計用於半導體器件和材料的精確蝕刻和灰化。處理能力和精度對於通常需要嚴格制造公差的產品和技術至關重要。Alliance 9400設計用於處理高吞吐量、改進控制和降低成本的困難過程。LAM RESEARCH Alliance 9400具有先進的多區域加熱圓頂和腔室設計,使高級設備結構的過程均勻性和特征輪廓最大化。多區域、可級聯的圓頂可最大程度地減少中心到邊緣的溫度差異,並且不需要經過後處理退火。多區腔室的設計保證了水平熱和等離子體均勻性與軸流通過獨立的通風區。Alliance 9400是針對高級設備結構和過程的經濟高效的解決方案。其先進的等離子體源技術（APS）通過提供大量可配置參數，確保了每個應用程序更大的過程靈活性和高性能。LAM RESEARCH Alliance 9400還具有獨特的自動化過程控制器,它允許靈活的配方,以最大限度地提高效率並最大限度地減少浪費。閉環過程控制系統監控過程性能，並實現確保準確性和可重復性的反饋控制算法。Alliance 9400為任何蝕刻或灰化過程提供了安全的環境。它具有自動化的過程控制量熱計、變溫操作、專用的火災/煙霧警報系統、自動安全閥關閉系統等廣泛的安全特性。LAM RESEARCH Alliance 9400還設計了集成式排氣鼓風機，將空氣傳播顆粒和其他危險顆粒的風險降至最低。總而言之,Alliance 9400是用於精確工藝應用程序的高級蝕刻器/Asher,旨在實現最佳的效率、成本節約和安全性。它具有多區域加熱圓頂和腔室設計，保持工藝的均勻性和特征輪廓精度，多區域腔室確保在安全環境中的熱和等離子體均勻性，以及具有靈活配方的自動化過程控制器，以實現最高性能和最小浪費。