二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764316 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是半導體行業的蝕刻器/asher。該工具用於從鋁到矽和光致抗蝕劑的多種材料的圖樣、去除和摻雜。由於其可擴展性、靈活性、高吞吐量和低擁有成本,它被設計用於各種生產方案。Alliance 9600 PTX的核心是它的蝕刻和灰化能力。該單元配備了雙級RFpowered幹蝕刻/灰化系統，用於對離子束的精確控制。此解決方案能夠去除5納米（nm）以下的層,典型的工藝窗口為0.03-10nm。該系統能夠蝕刻金屬、氧化物、氮化物、多晶矽和其他用於生產半導體器件的材料。該機還包括一個高真空兼容的安全快門，以防止氣體或顆粒在蝕刻和灰化過程中逸出。還包括其他真空組件，如渦輪分子泵，以改進蝕刻性能和控制。這確保了廣泛應用程序的可重復蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX擁有強大但易於使用的圖形用戶界面，簡化了流程設置和監控。它的雙計算機接口（DCI）集成允許控制器位於距離蝕刻/灰燼刀具50米的位置,從而使機器測量和調整端口可以從方便的外部位置訪問。最後,還提供了一個載荷鎖定選項,允許將工件自動載入蝕刻和灰化室。該機器允許與生產自動化系統集成,使流程能夠輕松自動化,並以最小的努力進行監控。總而言之，Alliance 9600 PTX是用於生產半導體器件的各種材料蝕刻和灰化的強大且經濟的解決方案。它占用空間小、具有蝕刻/灰燼功能、集成的安全快門、強大的GUI和靈活性,使其成為任何生產環境的理想工具。