二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9233428 待售
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單擊可縮放
ID: 9233428
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Etcher, 8"
Transfer chamber:
VCE Type: LIP Seal
Aligner: 001-4130-03
Transfer robot: BROOKS Magantran 7
ARM Type: Dual thin blade
Rocker valve P/N: 715-012208-001
LL & TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MSK
Cooling station
Turbo pump model: STP-H200C
Etch chamber: PM2 / PM3
Turbo pump: STP-1301L / STP-H1303CV3
Chamber: TCP 9600 PTX
Pressure gauge: MSK E29B-23813 (0.1 Torr) / 625A11TDE (10 Torr)
Throttle gate valve: VAT 65046-PH52-AFI1 / 0052
Source RF generator: RFDS 660-024637-006
Bias RF generator: RFG 1250 HLAO
Configuration of MW chamber: PM1 / PM4
Chamber: Alliance stripper
Throttle gate valve: VAT/64040-PE52-1009/0429
MW Generator: ASTEX FI10021
MFC:
PM1: O2 5000sccm / N2 1000sccm
PM4: O2 5000sccm / N2 1000sccm
Gas panel / Etch chamber: PM1 / PM4
Gas panel: 8 Channels
(6) Gas channels
MFC Model: TYLAN 2950 Series
Gas: PM1 / PM4
Ar 100 sccm
CHF3 100 sccm
O2 200 sccm
N2 50 sccm
CL2 200 sccm
BCL3 200 sccm
AC Rack:
Power supply: 208 VAC, 400 A, 50/60Hz, 3 Phase, 4 Wire
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是一款先進的蝕刻/asher設備,旨在集成尖端加工技術,以獲得最精確的蝕刻和灰化結果。該系統為用戶提供了更高的性能、更高的吞吐量、更高的正常運行時間和更低的運營成本。Alliance 9600 PTX能夠處理75mm至152mm的基板。該單元旨在為半導體行業的蝕刻/灰化需求提供極快的周期時間。Alliance 9600配備了高端特性，用於優越的材料加工。利用PEDC技術,超短脈沖可實現極其精確的蝕刻/灰化,從而方便生產密度越來越小的設備。該機還設計用於同時適應濕法和幹法蝕刻/灰分工藝。Cross-Flow濾波器具有集成的燈絲,可快速恢復加工後副產品。加熱滾筒的設計提供了極好的均勻性，通過改進的多區溫度控制使表面地形變化最小化。集成收集器存儲用於廢物收集的後處理晶片。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX還提供高級控制能力。升級後的InfinityFlex™ Control是一個全面的軟件包,它提供了許多功能強大的功能,例如實時流程和配方跟蹤、預測性維護、配方優化和遠程診斷。該工具還為簡單直觀的用戶界面提供了單鍵操作和自動校準。還利用現場計量資產優化了工藝精度，以確保產生精確、一致和可重復的結果。Alliance 9600 PTX是一種可靠且功能強大的蝕刻器/asher系統,為半導體行業的各種蝕刻/灰化工藝提供了先進的功能。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX模型具有全面的控制能力和更高的吞吐量,有助於降低刀具的復雜性和成本,同時減少停機時間並最大限度地提高流程效率。
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