二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9299377 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是一款高效的蝕刻器/asher,專為提高處理吞吐量、減少占用空間和並行處理能力而設計。這種晶圓處理設備是一種批處理式系統，具有寬廣的工藝窗口，可以實現更高的效率和多功能性。它提供各種工藝化學選擇，包括液化和氣化化學。該單元具有雙負載鎖定站、8英寸晶圓傳輸以及並行處理功能。這臺機器的主要優點包括能夠簡化負載鎖過程，提高清潔效率和重復性，以及能夠精確控制蝕刻過程化學。堅固的過程控制和自動化使得該工具非常適合同時進行蝕刻和灰分處理，以提高產量和更好的可重復性。該資產還具有多區域批量控制功能，以加強整個過程的監測，使即時化學和作業能夠實時改變。Alliance 9600 PTX是一款可靠的蝕刻器/asher，設計用於在處理過程中承受極端條件，並配備高速CPU、專用視頻型號、過程控制軟件、全彩色觸摸屏以及真空壓力監視器。它的模塊化設計使其具有高度的靈活性,因此可以根據需要配置不同的工藝模塊,包括矽化物、蝕刻、灰燼和其他標準。此外，該設備采用智能CVDTM薄膜沈積技術進行實時控制，增強晶片上沈積薄膜的均勻性。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX配備了智能工藝監控（IPM）技術，可持續監控貫穿過程的參數並自動調整刀具設置，同時確保包括預清洗、蝕刻和排放後清洗在內的工藝步驟得到準確執行。該系統的最大吞吐量為每小時300晶圓,非常適合當今晶圓處理的需要。