二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9389921 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是一款高通量蝕刻器/asher，專為大批量靈活生產半導體器件而設計。9600 PTX提供了極低的顆粒數量和卓越的材料去除均勻性,每小時高達227晶圓的驚人吞吐量。該設備提供先進的技術,確保快速、可靠和經濟高效的等離子體蝕刻和清潔操作。該機由先進的多區域等離子體源組成，用於精確靈活的蝕刻。先進的腔室設計可確保晶圓不同區域的均勻性得到控制，從而有助於生產高精度的器件。該設備包括一個真空泵送系統，能夠處理高達80托，以及一個增強冷卻劑單元，提供晶圓，電極，和熱過渡的最佳冷卻。此外,Alliance 9600 PTX還包括高級RF電源傳遞和控制系統。專有的高級工藝控制（APC）算法保證快速、準確地完成所需的蝕刻或清洗過程。可變工藝壓力控制還允許在蝕刻和/或清潔操作期間設置和維護精確的腔室壓力。總體而言,LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX憑借其高精度和高吞吐量,是對任何需要快速、可靠蝕刻和清潔的生產線的完美補充。由於其簡化的設計和操作機器，工藝工程師可以對蝕刻和清洗過程進行準確、快速的編程、設置和監控。機器也是高度可配置的，允許用戶隨時調整其功能和操作過程，以確保一致的結果。