二手 LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL #9169591 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL是一種蝕刻器/asher,專為需要高容量、高分辨率蝕刻的各種應用而設計。它設計了一個模塊化平臺，使它能夠處理一系列蝕刻過程。該機具有4室結構，第三室用於矽錳材料的各向同性蝕刻。它提供精確的過程控制和廣泛的過程參數，允許用戶將復雜的結構蝕刻成一系列材料。A4 4420XL具有板載高效動力氣體輸送裝置,可提供高度控制、可編程、高精度的蝕刻解決方案。蝕刻過程取決於試劑、壓力和溫度的組合，LAM RESEARCH開發了特定的試劑配方和定制氣流，以產生最佳的結果。該機還配備了光學邊緣檢測系統，使其能夠精確蝕刻高精度結構，而多級壓力表則提供連續反饋進入工藝室，允許長時間蝕刻均勻性。這種蝕刻器/灰化器能夠以高達0.01微米/秒的速率進行蝕刻，從而為一系列基材提供了廣泛的蝕刻厚度。它還提供靈活的過程控制,能夠調節氣流、壓力和溫度以滿足多步驟過程,如層移、厚膜金屬蝕刻或切丁。此外，A4 4420XL的設計與一系列晶圓支撐表面兼容，從玻璃和石英到矽和低k器件。綜上所述,LAM RESEARCH ALLIANCEA4 4420XL是一種高精度的蝕刻器/asher,可為用戶提供一種通用的解決方案,用於各種蝕刻和灰化過程。它提供了一個高效的封裝，一個精確的過程控制系統，高精度的蝕刻，和一系列的基板。光學邊緣檢測系統和多級壓力表等多項功能確保它能夠為大量使用的應用程序和低容量應用程序提供一致的精確結果。