二手 LAM RESEARCH Alliance A4 4520 #9272823 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 4520是一款蝕刻器/asher，設計用於高級陣列應用。它是一種多源蝕刻工具，具有全自動基板定位器、集成晶圓處理、高沈積效率反應器等先進的自動化功能。該設備具有高通量的生產能力,可提供高度精確的蝕刻結果。該系統能夠處理直徑不超過200毫米的基材，並能容納氧氣、氙氣、氮氣和氯氣等一系列加工氣體。它還擁有具有高端真空渦輪技術的多級蝕刻室，以支持高壓作業。先進的調節器和控制器單元能夠調整納秒範圍內的蝕刻速率，從而獲得精確的蝕刻結果。Alliance A4 4520上的集成晶圓處理機包括架空裝載機和在歧管頂部精確跟蹤基板的子系統。晶圓處理程序子系統有一個內置的視覺工具，使用光學傳感器監視基板的位置和方向，以確保與電極對準。該室還設有自動等離子體監測和控制資產，用於跟蹤和調節蝕刻前和蝕刻後操作中的等離子體。LAM RESEARCH Alliance A4 4520還采用了射頻供電模式,其功率級別範圍廣泛,可用於各種應用。該工具能夠以高維精度創建水平曲面。它還提供了可選的高劑量成像設備,用於高通量、低劑量成像和超高分辨率成像。Alliance A4 4520是高級陣列應用的絕佳選擇。它提供高吞吐量的精確控制,並配備集成的自動化功能,以實現高生產率。集成的晶圓處理系統、自動等離子體監控器以及射頻輸電機使這種蝕刻器/灰化器成為一種高效可靠的蝕刻工具。