二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #293627729 待售
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ID: 293627729
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Etcher, 8"
Process: Metal etch / strip
(2) Chambers
(2) DSQ Strip chambers
(2) Noah 3300 chillers with controllers
(2) Cassette load / unload platens
8-Line gas box
Remote operator system
Remote gas box assembly
Remote power distribution box
Gas used: Boron trichloride, chlorine, sulfur hexafluoride, oxygen, nitrogen, argon
Operating system: Next 3.3
Does not include TM Robot
Missing parts:
Wafer aligner
VCE Board
VME Board
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一款高級蝕刻器/asher,專為高吞吐量、可靠性和過程靈活性而設計。它能夠處理廣泛的基板，包括矽、III-V半導體、玻璃、金屬和陶瓷。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE具有多室設計,允許同時蝕刻和粉刷垂直和水平晶片。它配置有四個處理室,包括一個專用的ashing工作站。獨特的「渦輪」模式加速蝕刻和灰化，允許較低的溫度處理，減少加工過程中的壓力漂移。此外,大容量的過程程序可實現高吞吐量和可重復處理,以實現小批量和大批量生產。Alliance A4 9600SE設計為易於使用,具有直觀的操作員界面以及與多處理工具集成的能力。此外,它的高級流程監控功能提供了詳細的流程性能反饋,並允許根據所需的性能結果手動或自動調整流程參數。ALLIANCE A4 9600 SE 蝕刻器/asher高度可定制,提供多種工藝配置和選項,包括蝕刻後清潔、離子源和源電源脈沖、基板跟蹤和工藝日誌。加上旨在保護用戶和加工設備的安全功能,LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE為大容量蝕刻和灰化應用提供了顯著優勢。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE是一款先進的蝕刻器/asher,它提供獨特而靈活的處理環境,以滿足任何半導體制造工藝的需求。它的多室設計、快速的處理速度、直觀的操作員界面和定制配置使其成為需要高吞吐量和可靠性的高級流程的理想選擇。
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