二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098133 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一種全自動蝕刻器/asher,通常用於半導體制造。該設備為用戶提供了精密化學機械平面化（CMP）集成電路（IC）基板平面化的多種選擇,並且能夠蝕刻（或灰化）多種材料,包括金屬、電介質和聚合物。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE能夠對任何有圖樣或無圖樣的IC晶片提供均勻的化學反應。該系統由幾個工藝模塊和組件組成，包括一個化學品輸送和回收單元、一個晶圓處理機、一個機器人/盒式裝卸機、一個氣體輸送工具和多個工藝室。化學輸送和填海資產可配置為輸送多種蝕刻和灰化化學品，包括硫酸、過氧化氫和鹽酸。氣體輸送模型控制著工藝室的壓力和流量，能夠引入氧氣、氮氣、氯氣、氟氣和其他工藝氣體。晶片處理程序是Alliance A4 9600SE中最關鍵的部分,負責在加工室和機器人/卡帶處理設備之間傳輸晶片。晶圓處理程序使用內部開發的名為「LaserLAB」的軟件包進行控制，該軟件包提供了監測和調整蝕刻或灰燼工藝所需參數的選項，如溫度、流量、壓力和暴露於工藝氣體。ALLIANCE A4 9600 SE具有若幹安全集成功能。例如，一個緊急關閉開關位於每個蝕刻或灰化室的上方，設計為在出現任何緊急情況時啟動，如過溫、高氣壓、電源故障等。此外，自動化系統的設計目的是通過裝入一個負責從環境中清除任何化學蒸氣或加工氣體的排氣裝置，最大限度地減少接觸危險化學品或氣體的風險。總體而言,LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一款高性能、自動化的蝕刻和灰化機,能夠為用戶提供高效、可靠的半導體制造材料處理。該工具的安全集成功能降低了接觸危險化學品和氣體的風險，使LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE成為CMP處理的安全可靠平臺。