二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9161966 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一種蝕刻器/灰化器，特別是為先進半導體制造而設計的濕式氧化物蝕刻器/灰化器設備。該系統是兩個獨立的電化學過程的組合-蝕刻和灰化，每一個都有自己的集成過程控制和安全系統。該單元設計為在整個蝕刻和灰化過程中提供高度的精度和均勻性。它還利用先進的性能控制，以確保氧化結果是精確控制和無條紋的。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE利用氯基溶液進行蝕刻。氯氣通過含有高純度氯氣和氫氧化鈉強緩沖溶液的電動液體輸送機輸送。這種氯溶液通過一個專門設計的反應室被泵送到使用先進的真空轉移系統放置在真空中的基板上。在蝕刻過程中，氯離子與半導體反應生成氧化物。氧化物堆積由原位紅外和區域探測器聯合監測。灰化過程采用電弧放電和特殊氣體混合物。這種組合產生熱等離子體流，使氧化物層變成蒸氣，然後從反應堆腔中除去。在過程中，氧化物從基板汽化，可以通過調整電功率到電弧和氣體組成來調節。Alliance A4 9600SE 蝕刻器/asher工具具有許多安全功能,包括一個集成的安全協議,用於監視和控制溫度、壓力和當前水平。資產還包括通過控制顆粒物水平、壓力、光能和電流等環境條件來保護人員、材料和設備的措施。ALLIANCE A4 9600 SE是為優化操作和校準而設計的,為先進的半導體制造工藝提供了業界領先的性能。蝕刻器/asher模型提供卓越的控制、一致性和準確性,幫助設備制造商保持領先地位。