二手 LAM RESEARCH Alliance A4 #9138509 待售

LAM RESEARCH Alliance A4是專門為蝕刻和灰燼工藝而設計的高級蝕刻器/asher。A4具有獨特的離子、熱和光學蝕刻組合,提供高性能。它具有快速、可靠、可重復的過程，具有良好的過程控制和可控的等離子體能量。A4有一個定制設計的離子源，與傳統的蝕刻器/asher設計相比產生明顯更高的等離子體密度。A4還具有比其他蝕刻器/asher型號更高的工藝壓力的大型開放式工藝室。這樣可以實現更高的吞吐量和更高效的蝕刻速率。A4配備了使用CDA（化學依賴像差）技術的專利自動化工藝室。此技術有助於減少蝕刻特征的邊緣變化,最大程度地減少蝕刻缺陷,並確保輪廓均勻。A4最多支持8個配方層，可用於同時運行多個蝕刻過程。其precisionLoadTM等離子體對焦設備提供了更穩定、更可重復的蝕刻速率以及完整的宏控制和診斷。A4還支持廣泛的工藝預處理條件和工藝端點失諧。此外,高級流程監控還支持現場流程控制功能。A4適用於MEMS蝕刻、3D各向異性蝕刻、高級層間介電蝕刻、ceria各向同性蝕刻、半導體蝕刻等多種應用。它還支持各種工藝氣體，使用戶能夠創建優化的蝕刻配方。A4提供了一個通用蝕刻平臺,它與各種材料兼容,使用戶能夠為各種應用程序蝕刻各種工藝層。為確保操作安全，A4提供了先進的安全功能，如鎖上等離子室門和低工作射頻壓力。A4的先進電路提高了系統可靠性，車載故障檢測單元快速識別和報告潛在問題，允許快速糾正操作。A4是一種高效、可靠、精密的蝕刻機，非常適合蝕刻和灰分工藝流程。它為要求苛刻的半導體器件蝕刻工藝的吞吐量和工藝可重復性提供了顯著的改進。