二手 LAM RESEARCH Alliance A4 #9195948 待售

LAM RESEARCH Alliance A4是一款先進的蝕刻/灰燼設備，旨在滿足半導體器件制造的挑戰性需求。Alliance A4采用封閉式平臺進行雙面蝕刻和灰化,可提供快速、精確的晶圓處理,既可靠又經濟實惠。該系統旨在提供精確和可重復的結果。它具有四區蝕刻和灰化室，內置工藝和性能傳感器，以確保最佳蝕刻和灰化質量。LAM RESEARCH Alliance A4還具有可編程氣體反應元件，允許在蝕刻/灰分過程中使用不同的氣體配方。利用此功能,用戶可以定制蝕刻/灰分工藝,以滿足特定的半導體器件設計要求。Alliance A4包括一個機器人手臂，用於可靠的晶圓處理。手臂可以被編程為快速準確地將晶片轉移到腔室，並在蝕刻/灰燼區之間移動。該單元還包括一個集成的1微米顆粒狀真空烤箱，以輔助灰化。LAM RESEARCH Alliance A4支持多種蝕刻/灰分工藝，包括濕法和幹法蝕刻以及幹法灰化。該機設計用於與標準實驗室儀器和附件兼容，如直線和旋轉電動機級、面罩清洗系統和面罩對準系統。此外，該工具還集成了特殊硬件，如基板加熱系統、等離子體源和粒子探測器。該資產具有用戶友好的界面,便於設置和操作。該模型還提供完整的食譜和食譜步驟編輯,從而可以輕松定制食譜以滿足工藝要求。Alliance A4支持遠程監控，使用戶能夠實時查看和跟蹤晶圓處理結果。LAM RESEARCH Alliance A4是一款功能強大的蝕刻/灰燼設備，旨在滿足半導體器件制造的需求。Alliance A4憑借其可編程的氣體反應元件、機器人臂和直觀的用戶界面，提供了一種高效可靠的蝕刻和灰化工具。