二手 LAM RESEARCH Alliance A6 4520 #293820037 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 4520 Etcher/Asher是為半導體制造商設計的工業級蝕刻和灰化設備。它是一種高精度、低成本的機器，利用了不同幾何形狀的室大小的多功能組合。這樣可以對不同的基板進行精確的蝕刻和粉刷。該機將精密的蝕刻/灰分參數與精密的氣流控制相結合，具有極好的可控性和可重復性。Alliance A6 4520擁有先進的數字控制系統和動態腔室布局，可容納高達6個基板尺寸，直徑可達8英寸。LAM RESEARCH Alliance A64520設計了一個集成的數字電子設備,提供精確可靠的平臺以確保最大程度的蝕刻/灰分性能。該機器提供重型、風冷和水冷電容器和熱電偶，以及控制蝕刻/灰燼工藝的各種選擇。為了加強過程控制,可以為機器配置PID控制器以設置恒定電流和溫度。從0.5到50毫秒的可調脈寬允許精確的蝕刻/灰燼控制,而其他蝕刻/灰燼系統無法實現這種控制。而且，Alliance A6 4520提供了氣體分解和分析的集成解決方案，具有革命性的真空尖峰檢測工具。這一資產提供了一種獨特的監測蝕刻/灰燼過程的方法，方法是檢測工藝室內的氣體尖峰，從而能夠更快、更精確地控制蝕刻/灰燼過程。該模型還配備了集成射頻發生器和吸附器，為高效清潔工藝室表面提供了高效的解決方案。這款多合一設備旨在降低復雜性和工藝成本,同時實現最高級別的蝕刻/灰燼質量。LAM RESEARCH Alliance A6 4520是一個可靠而全面的系統，提供對關鍵蝕刻/灰燼參數最精確的控制。它是半導體制造商和研究設施的理想蝕刻/灰分裝置。