二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #121362 待售
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已售出
ID: 121362
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Poly etcher, 8"
(3) 9400-DFM chambers
Transfer Module Type: A6
VCE Type: A6 API
Aligner: 011-2980-16 (0405-11887)
Robot Type: Magnatran-7
Arm Type: Twin ARM (black finger)
User Interface: CRT monitor, PC, keyboard, light pen, UPS, signal tower
Lid lifter: Air cylinder
Wafer detection system: exist
EMO hub: exist
Cable raceways: exist
PM slot valves: 853-442064-002
Signal Tower: 4 lamps (Red, orange, blue, blue)
PRS gauge-1 (VCE-1): HPS
PRS gauge-1 (VCE-2): HPS
PRS gauge-1 (VCE-3): HPS
PM-2, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
PM-3, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
PM-4, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
2004 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM是蝕刻和粉刷各種基材的理想裝置。這種高性能的蝕刻器/asher提供了一次蝕刻和粉刷多達9個1000 mm x 400 mm晶片的功能,並配備了1800 W RF電源。此外,它還擁有19英寸觸摸屏顯示屏和現代化的用戶友好界面,支持高級流程控制。該系統有一個額外的大負載/卸載吊艙與可調臂，這意味著基板可以放置在設備上的精密和容易。它還具有強大的射頻匹配網絡和可調節的匹配,即使在高頻下也能提供出色的蝕刻性能。LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM具備LAM先進的動態流動模式（DFM）蝕刻能力,可精確控制側壁角度和底部蝕刻深度。這樣可以實現更完整的蝕刻輪廓,減少錐度,減少過度蝕刻。這種蝕刻器/asher還提供了一整套氣體化學過程，具有靈活的氣體測序，並且工藝剖析選項允許在不同的基材上具有類似的性能。此外,高流量淋浴頭陣列可確保一致的蝕刻均勻性。該裝置的冷卻再循環工藝室具有全面的超壓能力，非常適合真空蝕刻/灰化應用。為進一步方便起見,Alliance A6 9400 DFM還提供遠程監控和流程控制,允許用戶遠程管理系統並接收詳細的流程報告。最後,其增強的安全功能使其符合最新的安全準則和CE標記法規。ALLIANCE A6 9400DFM是一款令人印象深刻的蝕刻器/asher,使用戶能夠以先進的控制和精確度實現可靠和一致的蝕刻和灰度處理結果。此設備結合了強大的功能、用戶友好的界面和工藝功能,使其成為那些希望蝕刻或粉刷各種基板的用戶的絕佳選擇。
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