二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #198258 待售

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圖為 已使用的 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM 待售
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已售出
蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
LAM RESEARCH
模型
Alliance A6 9400 DFM
ID: 198258
Poly Etcher, 8" (3) Chamber modules to include: (1) Model 9400PTX (2) Model 9400DFM (3) LAM Enhanced Research Lab Gas Boxes (1) Control Rack with Noah Precision Models PSC-8000 and PSC-4400 Modules (2) Edwards Dry Pump Systems Software: Envision Platform: Alliance A6 Process: poly Process modules: DFM Gas box style: external orbital gas box individual door Interface: front and rear Main frame: though the wall bulkhead Transport module spec: Robot: Mag 7 End effector: standard stainless steel Load lock: Brooks automatic Station 6: Aligner Process module 1: Process: poly etch Process module: DFM Turbo: Edwards 1600 seiko seiki Manometer: heated single 10 torr manometer Vat valve: vat 65 heated Rf match: standard TCP extended range match Coil: standard 8" coil Chuck: E-chuck standard bi-polar Rf generator: Halo 1250 Endpoint: verity end point No interferometer Pump ballast Aov85: yes Backside He manometers present Gas lines: non heated Process module 2 Process: poly etch Process module: DFM Turbo: Alcatel 1600m Manometer: heated single 10 torr manometer Vat valve: vat 65 heated Rf match: standard tcp exteneded range match Coil: standard 8" coil Chuck: E-chuck standard bi-polar Rf generator: Halo 1250 Endpoint: verity end point No interferometer Pump ballast Aov85: yes Backside He manometers: present Gas lines: non heated Process module 3 Process: poly etch Process module: DFM Turbo: Alcatel 1600m Manometer: heated single 10 torr manometer Vat valve: vat 65 heated Rf match: standard tcp exteneded range match Coil: standard 8" coil Chuck: E-chuck standard bi-polar Rf generator: Halo 1250 Endpoint: verity end point No interferometer Pump ballast Aov85: yes Backside He manometers: present Gas lines: non heated Pumps Edwards IQDP 80/500 Chiller Noah solid state Gas box Mfc Unit series with metal seals Includes: Gib options STD Stacking kit Gas box mounting location: remote Quick clean kit TCU hosing: 50ft TCU configuration: Noah solid state Operating temperature: 60 - 80c Tm exhaust: upper 2002 vintage.
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM是業界領先的具有高級功能的蝕刻器/asher。該機設計為各種配置，具有卓越的設備靈活性，增加了兩個獨立的工藝模塊，使元件和晶片能夠精確蝕刻，具有出色的特征重復性。其水平沈積工具具有良好的均勻性控制，是半導體器件生產中晶片精密蝕刻或灰化的理想工具。LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM 蝕刻器/asher能夠在一個過程中進行高速晶圓蝕刻和灰化。它能夠以精確到0.05 µm/s以內的設定點監測率（SPM）控制蝕刻過程，以獲得最佳的重復性。此外,該機器還具有最先進的軟件和質量控制功能,可實時監控蝕刻過程並確保最大程度的一致性。Alliance A6 9400 DFM采用高效沈積工具和先進的電子束和ICP源系統設計，具有強大的過濾能力，使其效率極高，提供高質量的效果。高級硬件功能（如實時數據捕獲和過程參數記錄）提高了可重復性。圖層控制系統提供統一控制和實時診斷功能,使其成為各種高端蝕刻過程的絕佳選擇。ALLIANCE A6 9400DFM 蝕刻器/asher還提供各種工藝模塊和選項,使其能夠針對各種應用進行定制。由於先進的漏電檢測器和晶圓保護模塊，其先進的閘室保護裝置保證了最大的保護和壽命可靠性。此外,該機還具有集成的機器診斷功能,以確保高效維護。總體而言,LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM是一款先進、可靠、靈活的蝕刻器/asher,可提供卓越的刀具控制、可重復性和準確性。其大功率電子束和ICP源系統使其具有出色的過濾和過程控制能力，使其成為各種半導體器件生產應用的絕佳選擇。其先進的資產診斷和泄漏檢測模型保證了最大限度的保護和更長的使用壽命。因此，LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM是控制和可重復蝕刻、灰化以及其他各種設備制造工藝的絕佳選擇。
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