二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9038352 待售

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圖為 已使用的 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 待售
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已售出
蝕刻機/ 光阻清洗機
製造商
LAM RESEARCH
模型
Alliance A6 9400
ID: 9038352
Etcher, 8" Alliance A6 platform (3) 9400PTX chambers Bulkhead configuration CE mark Pre-aligner MKS transducer Magnatran 7 robot Signal Tower Remote Operator Interface EP filter box; 405 + 520nm ESC VAT isolation valve 12" TCP coil Dual end effector SEIKO SEIKI-STP-A2203C AERA FC D980C MFCs Stacked gas boxes 12 gas lines per box TopRF generator: RFDS Bottom RF Generator: RFG1250HOLA (3) TCS DEX-30AGRF chiller Generator, Turbo Pump Controller, Main Controller Alliance transport module maintenance manual Alliance transport module ship with integration Drawings and schematics revision B Alliance integration gas box drawings and schematics Alliance SECS/GEM interface revision F Vacuum pumps and exhaust scrubber not included.
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400是一種蝕刻器/asher，一種濺射沈積設備。系統使用電容耦合射頻（RF）功率將金屬薄層濺射到基板上。Alliance A6 9400是一種高通量的單元，能夠以高速率生產均勻的薄膜塗層。該機為雙室配置，配有射頻電源、惰性等離子體和真空室。蝕刻室容納RF電極，這些電極連接到RF電源。腔室中的射頻功率由電源控制,並根據所需的蝕刻過程調整為所需的蝕刻參數。惰性等離子體在腔內被激活，用於激活反應氣體中的金屬離子。材料因離子轟擊而濺射到基板上，並調整射頻功率以促進濺射金屬膜的均勻沈積。真空室為低壓沈積過程提供了一個環境，兩個腔室相連以保持蝕刻和真空室之間的壓差。LAM RESEARCH Alliance A6 9400配備了先進的多傳感器成像工具，用於監測蝕刻過程中膠片的生長。所拍攝的圖像可用於過程監控和故障排除,並可直觀顯示塗層的均勻性。資產還配備了開環過程控制，以提供蝕刻速率和塗層均勻性的反饋。Alliance A6 9400是一款適應性強、高通量的蝕刻/asher，能夠制作性能極佳的影片。其先進的兩室設計、開環過程控制和成像模型為用戶提供了精確控制沈積過程並產生所需結果的能力。
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