二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9050180 待售
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ID: 9050180
TCP Etcher. 6"
Robot: Brooks Magnatran 7
Process Module 1:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 2:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 3:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Gas box:
Modular gas box
Remote power module.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400是一款專為精密蝕刻和灰化而設計的高性能蝕刻/灰化設備。適用於矽、SiO2、II-VI化合物、低k電介質和III-V化合物等溫度敏感材料的加工。該系統配置性強，並配有各種射頻源和工藝氣源，使其能夠處理各種尺寸的晶片。該單元具有負載鎖模塊、熱室、集成晶片卡盤、多區加熱器和真空泵。載荷鎖定模塊包括一個帶有自動載荷和卸載機的載荷室、一個位於載荷室中的基板聚焦工具以及一個帶有集成氣體面板和排氣風扇的排氣資產。熱室包括一個單獨的室和一個加熱器模塊。加熱器模塊能夠將腔室的溫度保持在恒定的所需狀態。這對於防止晶片在加工溫度期間降解至關重要。集成的基板卡盤消除了手動裝載和卸載基板的需要。這種自動化有助於提高蝕刻的統一性和可重復性。該型號由專用電子機櫃提供動力,並使用觸摸感應GUI操作。GUI提供了配方創建、實時數據顯示、離子源調諧和腔室壓力顯示等一系列功能。它還允許從集中工作站進行可編程的過程控制和監視。該設備還與自適應過程控制（APC）模塊和高級過程控制（APC）系統集成在一起。APC模塊可根據測量反饋數據自動調整蝕刻工藝參數,從而確保以最高精度實現一致的結果。APC系統有助於最大限度地減少過程漂移和過程變化的影響。Alliance A6 9400是一款最先進的蝕刻器/asher單元,提供無與倫比的精確度和多功能性。它旨在在最苛刻的蝕刻和灰化條件下提供最佳的精度和性能。其先進的自動化和控制功能使其成為任何蝕刻或灰化應用的重要工具。
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