二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9296416 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9400是一款高級蝕刻器/asher,旨在處理半導體器件制造的各種任務。它利用專利技術來提供卓越的工藝控制、提高吞吐量以及提高蝕刻和灰化工藝的產量。A6 9400系列能夠支持高達100 cm2晶圓容量的所有蝕刻/灰分工藝要求。A6 9400是一款大尺寸、堅固耐用的蝕刻器/asher,具有多種自動化功能,可確保工藝的精確度和均勻性。它采用幹式氣體輸送（DOGD）技術，用數字控制閥精確控制氣流。這為蝕刻工藝提供了清潔穩定的氣體環境。它還包括用於精確溫度控制的集成非接觸式熱電偶。它還使用快速沖洗設備來減少樣品處理時間。A6 9400具有高速系統配置,可提高吞吐量並減少蝕刻時間。這包括用於增強掩蔽和蝕刻的高分辨率、300瓦射頻發生器、用於改進等離子體場均勻性的高精度、快速、激光調諧單元，以及用於優化光束成形的高速掃描技術。該機器還包括先進的計算機控制和配方存儲功能，可重復性和數據追溯。A6 9400采用直觀的操作工具和觸摸屏控制面板,易於配置和操作。使用可定制的參數和設置,可以輕松配置資產以滿足特定的蝕刻/灰燼要求。它包括通風氣閘保護、可調暴露極限的實時計量、大氣監測模型等綜合安全功能。Alliance A6 9400是一款可靠且先進的蝕刻器/asher,旨在提供卓越的工藝控制、增加的吞吐量和產量,以及易於操作。它利用專利技術和可定制的功能來支持對高效的半導體器件制造的各種蝕刻/灰分要求。