二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX #9025958 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX是一種利用高密度等離子體技術實現蝕刻工藝化學精確、可重復控制的蝕刻/灰化設備。這款蝕刻器/asher的設計目的是為各種材料提供快速、高效、精密的蝕刻，如矽、的、GaAs、SiO2、SiGe等化合物半導體，以及金屬、陶瓷、聚合物等硬質基板。LAM RESEARCH ALLIANCE A6-9600PTX還配備了一個微米級分辨率掃描系統，能夠掃描速度為25kHz。這種高速掃描單元設計為允許具有高精度和重復性的可變蝕刻深度、角度和寬度，使其在高長寬比精密蝕刻應用中特別有用。此外，ALLIANCE A6 9600PTX設計有一個先進的危險控制機器，以保護人員和設備本身。它配備了氣體關閉傳感器、惰性凈化氣體輸送工具和壓力控制器，以確保安全、清潔運行。ALLIANCE A6-9600PTX還配備了可變溫度氣體輸送資產，旨在使更廣泛的蝕刻化學物質得到利用。Alliance A6 9600 PTX專為實現高效灰化而設計,而無需多個過程步驟。Asher利用高密度等離子體來確保表面的均勻蝕刻速率，並消除Ashing過程中的任何變形。該模型還采用了集成的等離子體反饋控制設備，確保了對蝕刻速率和過程重復性的精確控制。由於體積緊湊，LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9600PTX是實驗室環境的理想選擇，設計高效、操作簡單。蝕刻器/asher系統帶有直觀的用戶界面，允許用戶根據需要快速設置和修改參數。所有這些功能結合在一起,使LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX成為經濟高效的蝕刻和灰化的絕佳選擇。