二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9276388 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9600是一款用於先進半導體器件制造的高精度蝕刻灰設備。該系統為包括矽片、金屬和電介質在內的各種基材提供精確、可重復和可靠的蝕刻和清除操作。它設計用於需要高蝕刻速率和精確精度的介電蝕刻應用。該單元配備先進的技術特點和直觀的人性化控制選項，提供卓越的產品性能和靈活性。Alliance A6 9600采用直列四氟甲烷（CF4）蝕刻室，具有精確的質量流量控制，提供高達250毫米/秒蝕刻速率的高度可重復蝕刻輪廓和高分辨率2.5毫米x 2.5毫米貼片尺寸。經過優化的數字電荷中和機可確保出色的氧化順應性,減少氧化漂移並保持在2V ±範圍內。該蝕刻工具還具有具有自動輪廓控制功能的8點環形高斯電子束源和能夠產生高達0.02 μ米線寬的高分辨率模式發生器,適合大容量生產小型設備特性。資產包括一個6英寸雙區真空灰室的集成灰燼模型，提供高達2800 °C的溫度控制，以及一個8氣體混合供應設備，用於快速晶圓吞吐量和基板兼容性。此外，該系統還提供了一個集成的氫控制單元（HCS），以提高端點精度，優化光致抗蝕劑選擇性，消除堿灰汙染。LAM RESEARCH Alliance A6 9600提供高端半導體器件制造所必需的全部功能。該機針對過程兼容性、生產率、均勻性控制和吞吐量進行了優化,從而實現了從晶圓到晶圓再到批量的快速、精確、可重復的蝕刻結果。