二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9354470 待售
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單擊可縮放
ID: 9354470
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
Install type: Through the wall
Integrated gas panel
No SMIF
PM 1: Microwave
PM 2: 9600 PTX
PM 3: 9600PTX
PM 4: Microwave
PM 5: Aligner
PM 6: Cool station
Electrostatic chuck
On process turbo pump channels
VAT65 Turbo gate valve
Endpoint detection system
Photodiode endpoint
End point 1 P/N: 853-540066-011
CD Rom manuals
Alliance mainframe:
MAG7 Robot
Dual blade
Rotational VCE6 with dynamic seal
Signal lamp tower
Gate valve: Heated (PM2, PM3)
Turbo pump (PM2 and PM3):
SEIKO SEIKI H1303CV3 Turbo pump
RF / Microwave generator:
MKS CPS PM 1 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 2 Top
ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM 2 Bottom
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 3 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 HALOPM 3 Bottom
MKS CPS PM 4 Top
Chiller:
One/Two cooling channels
Quantity: Up to 4
Gas box configuration:
PM1:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
PM2:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / STEC / - / - / BCL3
2 / STEC / - / - / CL2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM3:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / BCL3
2 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / CL2
3 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2900M / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM4:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
No standard manuals.
LAM RESEARCH Alliance A6 9600是一款基於先進技術的全自動快速熱處理設備，旨在為用戶提供最大精度和效率。該系統在25°C至900°C的溫度範圍內運行,並提供+/-5°C的良好溫度均勻性,這意味著加工室內的環境在加熱和冷卻時保持一致。溫度穩定性保證了在任何溫度和基板組合下的最佳蝕刻或灰化性能。該單元配備了直觀的嵌入式控制機器，提供靈活的配方控制，允許整合大氣、加熱速率、冷卻、端點校正等多種工藝參數。如果需要,此控制工具還能夠動態調整這些工藝參數。該資產能夠一次處理多達6個基板，其加工室直徑為100毫米，基板尺寸為8「或12」，使其具有更高的吞吐量。該室的設計目的是進行蝕刻和氧化過程，它還配備了石英窗口查看器，以便用戶可以清楚地查看他們的工作進度，而不必打開腔蓋。Alliance A6 9600快速熱處理模型是用戶希望在加工基材時實現精確溫度穩定、實現最大效率和性能的理想解決方案。
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