二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX #9266046 待售
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ID: 9266046
晶圓大小: 8"
Etcher, 8"
Integrated gas panel
PM1: Microwave
PM2: 9600 PTX
PM3:9600 PTX
PM4: Microwave
PM5: Aligner
PM6: Cool station
Electrostatic chuck
Turbo pump
Turbo gate valve: VAT65
Photodiode endpoint detection system
Gases: N2, O2, BCL3, CHF3, CL2, AR
CD ROM Manuals included
Mainframe
Robot MAG7
Dual blade
VCE6, Rotation, with dynamic seal
Signal lamp tower
Turbo Pump:
PM1: NA
PM2: SEIKO SEIKI H1303CV3
PM3: SEIKO SEIKI H1303CV3
PM4: NA
RF/ Microwave generator:
PM1: MKS CPS
PM2: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO
PM3: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO
PM4: MKS CPS.
LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX是一種先進的物理氣相沈積(PVD)和蝕刻技術,旨在使設備制造商能夠創造出產量更高、性能更高的復雜非易失性內存芯片。Alliance A6 9608 PTX具有較大的垂直範圍,它提供了一系列專用模塊來滿足設備制造需求,從而使集成電路的設計速度更快、精度更高。LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX具有從物理氣相沈積(PVD)到化學蝕刻的全方位真空處理能力,這對於制造非揮發性記憶芯片至關重要。這樣可以精確控制工藝條件,如腔室壓力和溫度,以及沈積速度和均勻性。這些功能允許在各層之間精確蝕刻和精確控制設備機制,從而無需進行昂貴且耗時的手動調整。此外,該系統還配備了溫度規劃,以防止損壞腔室和加工部件。這樣就可以輕松準確地調整工藝條件,提供更高的產量並降低汙染風險。此外,Alliance A6 9608 PTX憑借其高度的可控性,可用於制造具有三維輪廓的困難結構。這可用於構建復雜的體系結構,如納米級內存芯片,其產量和性能比以前可能要高得多。LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX還具有高效的機器人樣品處理和狹縫/源區。提供此功能是為了確保以更高的精度和速度處理適當數量的樣品。機器人處理程序連接到中央控制系統,使操作員能夠控制各種過程步驟,以確保平穩運行和效率。最後,Alliance A6 9608 PTX是一種頂級蝕刻器,適用於需要制造復雜非易失性內存芯片的用戶。它集成了真空處理功能、溫度安全編程和復雜的機器人樣品處理功能,使其能夠在較短的時間內提供精確度和可控性,並且比舊系統具有更高的產量和性能。
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