二手 LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX #9213369 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX是為量產半導體製造設施而設計的高精度、自動化的蝕刻器/asher。通過優化處理、引入、塗層和蝕刻工藝，這臺機器能夠實現晶片的高通量。整個設備包括一個單獨的控制單元，具有集成的灰燼和加熱/冷卻能力。控制單元包括一個用於精確過程控制的可編程邏輯控制器、一個機電閥、一個用於引入和管理反應性氣體和過程氣體的氣體面板以及一個高速提升系統。單個asher由一個平臺組成，該平臺位於由X軸分級單元承載的升降機上。升降機垂直移動平臺,X-Axis分級機在整個工藝室中移動平臺。Alliance A6 TCP 9408具有幾種先進的工藝控制技術，如LAM RESEARCH EECO-GATE精密調諧工具、pilot asher a3和Auto-Pilot Asher工藝軟件。EECO-GATE資產優化了RF功率,以實現蝕刻過程的可重復和可重復重復。先導Asher a3模型能夠完全獨立地控制工藝參數，確保每個晶片的蝕刻過程都是可重復和可重復的。Auto-Pilot Asher過程軟件在過程控制中扮演著重要角色，使過程過程自動化如RF功率中的自動校正、蝕刻速率、流速以及其他過程變量。Alliance A6 TCP 9408還包含一個集成的冷卻/加熱設備,能夠精確控制加工區域的溫度,確保蝕刻過程在所需溫度範圍內完成。該機還包含一個電極置換系統，可以在沒有人工幹預的情況下，快速替代不同作業和不同晶片的電極。此外，Alliance A6 TCP 9408配備了多項安全功能，包括安全互鎖單元、滅火機和緊急關閉閥工具。機器的過濾器資產旨在保護過程環境不受汙染。綜上所述,Alliance A6 TCP 9408 PTX是一款功能強大的蝕刻器/asher,旨在實現晶圓過程的無縫、可重復和可重復重復。該機配備了幾種先進的工藝控制技術和安全特性，成為批量生產半導體制造需求的可靠選擇。