二手 LAM RESEARCH Alliance A6 TM #9152887 待售
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LAM RESEARCH Alliance A6 TM是一款先進的高性能蝕刻器/asher。具有精密、精密的各類材料蝕刻、粉刷能力。它有一個大的蝕刻室,可以容納直徑達610毫米、高度達460毫米的樣品,並且可以處理單面和雙面配置的樣品。每份工作最多可處理12個晶圓,並達到高達10微米/分鐘的蝕刻速率。蝕刻器/asher具有高科技的機械臂,使其能夠處理來自一系列配置的樣本。它在均勻蝕刻方面提供了卓越的精確度,還能夠同時進行多晶片處理。蝕刻器/asher的設計效率高,擁有成本低。它具有兩級壓力控制系統,允許在蝕刻和灰化過程中調節過程壓力。蝕刻器/asher能夠為高分辨率蝕刻提供各種蝕刻配方。食譜可以根據所需的結果量身定制和調整。它也具有高度的可調整性,具有廣泛的溫度、時間和氣流設置。蝕刻器/asher還配備了變頻電源和嵌入式用戶友好界面,便於操作和控制。蝕刻器/asher適用於多種應用,包括半導體、MEMS/MOEMS和全息工業中的應用。蝕刻器/asher配備了全面的安全系統,如惰性大氣系統和滅火系統。它還擁有一個全面的傳感器網絡,用於實時監測。所有這些功能都允許安全高效的處理。Alliance A6 TM是一款高級蝕刻器/Asher,提供卓越的精確度和準確性,同時提供低擁有成本。適用於廣泛的應用,並配有全面的安全系統。蝕刻器/asher與廣泛的配方兼容,允許用戶根據自己的要求量身定制最佳蝕刻條件。
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