二手 LAM RESEARCH Alliance A6 #9123023 待售

LAM RESEARCH Alliance A6是一款精密蝕刻和灰化設備，專為最苛刻的蝕刻和灰化應用而設計。Alliance A6能夠在許多蝕刻和灰化應用程序中提供卓越的性能。它配備了先進的高端功能，使其成為納米級器件制造和MEMS原型制作的完美工具。LAM RESEARCH Alliance A6在同一平臺上提供非常精確的等離子體生成和控制，使用戶能夠實現緊密的等離子體參數穩定性和廣泛的蝕刻和灰化結果。該系統能夠進行亞微米蝕刻以及高分辨率離子束蝕刻和灰化操作。這是通過先進的蝕刻和灰分配方能力和實時等離子體監測系統實現的。Alliance A6采用最先進的高通量直流磁控管濺射源構建。這確保了非常高的蝕刻和灰化率在同一時間，為了工作與多個樣品基板。該單元還提供了一個清晰的過程視圖與激光幹涉儀動態反饋控制選項。這樣可確保樣品的所有部分都具有偶數蝕刻/灰化屬性。為確保取得最佳結果，LAM RESEARCH Alliance A6還具有可靠的安全和環境合規性。完全符合半導體行業和潔凈室空氣質量標準。這樣可以保護樣品的完整性，使其免受汙染、諧波噪聲和其他可能影響過程的環境因素的影響。此外，它還包括一個去汙機，以確保沒有化學殘留物滯留在樣品後蝕刻。總體而言，Alliance A6是在多種基材類型上進行蝕刻和灰化的理想選擇，提供出色的工藝控制和效果。其高端特性使其適合各種納米級器件的制造和MEMS原型的應用。