二手 LAM RESEARCH Alliance A6 #9176367 待售

LAM RESEARCH Alliance A6是一種蝕刻器/灰化器,研究電子-回旋共振（ECR）蝕刻原理.該設備旨在滿足各種半導體材料的嚴格蝕刻和灰化工藝要求。A6提供卓越的蝕刻和灰化性能,以及較低的維護成本和最小的停機時間。該系統設有全N型 ECR蝕刻工藝室，配有氦氣噴射器和離子源。A6所使用的高能共振方法，即使在亞半微米水平，也能實現高蝕刻速率和優越的選擇性。氦氣噴射器的沈積低，選擇性好，蝕刻速度快。離子源產生高能量的離子束，快速地從基板上除去材料，允許有效的蝕刻和灰化過程。該單元與高滑行率等離子體清潔模塊集成在一起，以安全可靠地清潔A6的工藝室。此模塊可提高等離子體密度,增強蝕刻和灰化過程,並提高整個過程的可重復性。高容量供氣機提供熱控制和最高水平的汙染預防。先進的實時三向流量控制室允許精確控制蝕刻過程。此外,專有的負載鎖定工具可確保高精度配方和一致性。該資產采用自動配方管理模式，便於在會議廳之間轉移配方，而不費吹灰之力。定制的AI預測配方為每個基材和工藝組合提供了最佳的工藝性能。該設備還為用戶提供實時狀態信息和控制，以加強過程監控和故障排除。可選的Air-to-Process接口可減少作業排序的停機時間,從而提高流程吞吐量。該系統還提供高精度和重復性，即使在處理不同厚度的基板時也是如此。A6還提供了靈活性，允許不同的蝕刻技術，如各向同性、各向異性和定向蝕刻。Alliance A6是用於半導體材料高性能蝕刻和灰化的強大工具。它提供可靠的蝕刻性能,以及安全和低維護.A6提供最新的蝕刻和灰化技術,並允許定制的工藝配方,以提高效率和可重復性。總體而言,LAM RESEARCH Alliance A6是一款功能強大的蝕刻和灰化設備,可提供卓越的蝕刻性能,同時又不影響安全性。